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相位偏折測量系統(tǒng)

簡要描述:相位偏折測量系統(tǒng)相位偏折術(shù)或條紋反射法,是一種非接觸式、低成本、高魯棒性且高精度的面形測量技術(shù),絕對檢測精度可達(dá)10-20nm RMS,可以用于平面、球面、非球面、離軸拋物面、自由曲面等面型的高精度檢測。具有測量角度大、非接觸、精度高、速度快等特點。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-09-29
  • 訪  問  量:963
詳細(xì)介紹
品牌昊量光電產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域綜合

相位偏折術(shù)/相位偏折測量系統(tǒng)


相位偏折術(shù)/相位偏折測量系統(tǒng)產(chǎn)品簡介:

 偏折測量技術(shù)(PDM)又稱為相位偏折術(shù)或條紋反射法,是一種非接觸式、低成本、高魯棒性且高精度的面形測量技術(shù),絕對檢測精度可達(dá)10-20nm RMS,可以用于平面、球面、非球面、離軸拋物面、自由曲面等面型的高精度檢測。具有測量角度大、非接觸、精度高、速度快等特點。


 上海昊量光電設(shè)備有限公司近日推出市面上shou款商業(yè)化的共軸偏折術(shù)測量系統(tǒng),具有操作方便,檢測精度高(<15nm RMS),應(yīng)用范圍廣等特點。相位偏折測量 系統(tǒng)主要由ccd相機(jī) 、LCD顯示屏和待測件三個部分組成,系統(tǒng)配置如下圖。LCD顯示屏投射提前生成好的結(jié)構(gòu)光正弦條紋,正弦條紋被待測鏡表面反射后發(fā)生畸變,CCD相機(jī)采集畸變后的條紋,再利用相位斜率映射關(guān)系從畸變的條紋圖中計算出待測鏡梯度信息,再根據(jù)基梯度數(shù)據(jù)的面形重構(gòu)算法,重建出待測鏡的面形。



圖1 偏折術(shù)測試系統(tǒng)



偏折術(shù)系統(tǒng)(PMD)產(chǎn)品優(yōu)勢:

  • 檢測精度高:<15nm RMS

  • 測量范圍寬:能夠測量平面、球面、非球面、離軸拋物面、自由曲面等;

  • 對環(huán)境噪聲不敏感:具有非常強(qiáng)的抗環(huán)境干擾;

  • 系統(tǒng)搭建簡單、性價比高:使用商業(yè)化的配件,對成像光路沒有特殊要求。


相位偏折術(shù)/相位偏折測量 系統(tǒng)測試案例:

圖2 平面鏡(λ/10)檢測


圖3 球面鏡(Thorlabs ,CM508-500-G01)檢測

圖4 離軸拋物面檢測


圖5 ONERA公司TMA自由曲面檢測(右側(cè)為LUPHOScan輪廓儀測試結(jié)果)



相位偏折術(shù)/相位偏折測量 系統(tǒng)產(chǎn)品應(yīng)用:


隨著工業(yè)制造業(yè)發(fā)展,我國在航空航天、裝備制造、汽車工業(yè)、生物醫(yī)學(xué)與通信和微電子高科技等領(lǐng)域方面對鏡面和鏡面類等零件需求越來越大,其已經(jīng)成為了我國在通信行業(yè)的關(guān)鍵零件之一。制造過程中有一道必要工序就是面形檢測,目前的常用檢測方法存在檢測效率低,檢測精度不滿足要求等問題,隨著上海昊量光電設(shè)備有限公司相位偏折測量 系統(tǒng)(偏折術(shù))推出,可以有效助力我國的科技項目。


相位偏折測量系統(tǒng)


關(guān)于昊量光電:

上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商,產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測量設(shè)備、光學(xué)元件等,涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究、國防、量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、激光制造等;可為客戶提供完整的設(shè)備安裝,培訓(xùn),硬件開發(fā),軟件開發(fā),系統(tǒng)集成等服務(wù)。


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