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  • 滑動(dòng)式二硫化鉬CVD制備設(shè)備
    滑動(dòng)式二硫化鉬CVD制備設(shè)備
    硫粉預(yù)熱器采用管內(nèi)測(cè)控溫以保證在250℃以下,穩(wěn)定控制硫蒸汽的蒸發(fā)時(shí)機(jī)和蒸發(fā)溫度。真空機(jī)組裝有真空粉塵過(guò)濾器以保護(hù)機(jī)械式真空泵不被硫粉塵損壞。采用耐腐蝕電阻電容復(fù)合真空計(jì)(在1000Pa以上測(cè)量不受氣體種類影響,耐硫蒸氣腐蝕),通過(guò)調(diào)節(jié)真空蝶閥的開啟程度調(diào)節(jié)爐管內(nèi)壓力穩(wěn)定,在1200℃以下的工藝溫度穩(wěn)定氣相沉積二硫化鉬等二維化合物材料?;瑒?dòng)式二硫化鉬CVD制備設(shè)備
    型號(hào):    廠商性質(zhì):代理商
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